傳統(tǒng)的鈦泵電源只用于去除密封裝置中的殘留空氣,不需要穩(wěn)壓輸出。因此,輸出電壓隨著電網(wǎng)的波動和負載電流的大小而波動。鈦泵電源作為一種特殊的泄漏檢測,要求穩(wěn)壓輸出,才能判斷輸出電流增量是微泄漏的電流增量,從而找到泄漏位置。由于鈦泵電源的特點是輸出高電壓、小電流(甚至無電流)。因此,我們選擇了開關電源的技術方案,一般開關電源不允許空載(即在微電流下不能工作),但鈦泵泄漏檢測儀的工作是一般開關電源的禁區(qū)。為了解決這個問題,我們采取了一些措施,使開關電源在完全空載的情況下不會損壞。電流采樣的技術方案是將電流增量轉化為電壓增量,簡化整體電路設計。計算放大器和輸出信號的零位調(diào)整是鈦泵泄漏檢測儀能否達到效果的關鍵問題,尤其是輸出信號的零位調(diào)整。在電流采樣中,已經(jīng)提到將電流信號轉換為電壓信號。
因此,電壓放大器可以用于計算放大器。目前,有許多高穩(wěn)定性和低漂移的計算放大器,這并不難解決。關鍵是零,至關重要。原因有兩個。首先,在不同的測量范圍內(nèi),計算放大器的放大倍數(shù)是不同的。無論放大多好,輸出信號在不同的閉環(huán)放大倍數(shù)下總會有所不同;二是負載(指鈦泵)本身,由于導線絕緣性能差,會造成一定數(shù)量的漏電流。這種漏電流往往大于實際顯示真空裝置中的壓力電流。因此,在鈦泵泄漏檢測儀的電路設計中,要考慮減少這部分無用的漏電流,以達到高靈敏度顯示的目的。因此,我們通過調(diào)整零來解決漏電流的影響。負載(鈦泵)電流指示由于計算放大器的輸出信號是電壓,因此我們將輸出的電壓轉換為電流顯示。
以下簡要介紹了鈦泵泄漏檢測的工作原理。基于鈦泵對泄漏氣體泵送速度的選擇性。當真空密封裝置有輕微泄漏時,鈦泵的泵送量等于泄漏量,形成一定的平衡壓力。平衡壓力類型如下:Pt=P1+1/V[FQL+(Qidt)](1)在真空密封裝置中,假設QL≤(Pt-P1)V/t(2)離開裝置的時間;P1離開前排氣系統(tǒng)的*限壓力;QL一個裝置的實際泄漏;Qi一個裝置的泄漏;V一個裝置的體積。
鈦泵主要依靠化學吸附排除活性氣體O2.H2.CO2等氣體,降低密封裝置內(nèi)的壓力,降低鈦泵的放電電流,消除惰性氣體He.Ar等氣體主要依靠物理吸附,使鈦泵的放電電流較大??梢钥闯?,當鈦泵的放電電流與平衡壓力成正比時,通過漏孔進入鈦泵時,泵電流會發(fā)生變化。根據(jù)這一變化,可以檢測到真空密封裝置的漏孔。
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